用电子束进行辐照的电子束来自电子加速器。电子束从电子枪发射出来后，在加速管内受到高微波电场（或直流电场）的加速作用，将电子能量提高到额定值（例如10MeV），然后经磁铁偏转扫描通过钛窗射出。
因为电子束是单向发射，能量相对集中，总能量利用率高于60%，对发射功率15kW的加速器，产品的产量9kGy•kg/s，由此处理一个典型的10kGy的辐照，产品的产量为0.9kg/s或约3.2t/h。
电子能量E：电子能量一般指加速器输出电子束的最高能量，习惯以MeV（兆电子伏）为单位来表示。
在工业辐照领域，根据辐射加工产品的不同要求，电子能量设计在0.15MeV到10MeV之间（1MeV＝106eV）。通常如下表所示，分为3类：
电子束流强度I：指被加速电子的数量，即电流，常以mA（毫安）为单位。低能或中能加速器的束流，通常为恒定束流（直流），高能直线加速器输出为脉冲束流，它由脉冲频率，脉冲宽度，脉冲流强等参数描述。
电子加速器的输出功率P：表示其加工能力，它由加速器的高压和电子束流强度所确定。
P（kW）=E（MeV）×I（mA）
与钴－60源相比，电子加速器的功率大，一般为几kW到几百kW，能量和束流强度根据需要选择确定。
加速器作为电子束辐射源，产生的剂量率要比钴－60γ辐射源高出3～4个数量级，方向集中，能量利用率高，照射时间短，生产效率高。适合于大批量的辐照加工，可形成规模产业。但电子束的穿透能力低，应用亦有一定的局限性。
任何辐射源都必需采取防护措施。相对而言，加速器源的辐射防护比较容易，开机时有辐射，停机就没有辐射了，这使辐射安全事故的概率大大降低。能量低于10MeV的电子，不会产生感生放射性。
