绝缘气体处理系统的功能有二：1）加速器检修时回收气体；2）通过气体的循环去除其中的水分和运行中因放电生成的有毒有害分解产物。
该系统的主要部件如下：
（1）储气筒
为电子辐照加速器检修时储存SF6气体用。
（2）压缩机机组
由无油压缩机、干燥塔、过滤器及相应的管道部件组成，用于将气体向加速器钢筒或向储气筒进行压缩。
（3）真空泵机组
由真空泵、油过滤器及相应的管道部件组成，用于对钢筒和储气筒抽气。在加速器检修打开钢筒前，它必须把钢筒内的SF6抽尽并输送到压缩机的入口以便压入储气筒；在加速器检修完毕灌气之前，它必须将钢筒内的空气抽尽，以保证SF6的纯度。
上述各部件被紧凑地集成在一个带有控制面板的机箱中，整个系统采用电动执行元件和程序控制，通过面板上的按钮操作，即可按规定自动完成相应的流程步骤，避免误动作。
系统的细节请参见附件《CQ-0.6/30型六氟化硫气体处理系统使用说明与操作规程》。
