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电子辐照加速器之真空抽气系统
发布时间:2016-11-27 13:38 访问次数:次
真空抽气系统安装在电子辐照加速器主厅钢筒底座下面的四通管两侧,由FF160/620C型涡轮分子泵和SP-400型溅射离子泵机组组成。推荐运行时先启动分子泵机组,然后利用分子泵启动离子泵,待后者正常工作后,即可关闭分子泵、机械泵机组。
真空测量采用B-A规数显式真空计,真空计可向控制台输出连锁信号,以实现与真空度有关的连锁控制。
两个插板阀为真空操作的方便而设。当因某种需要(如更换钛箔)必须对系统放大气时,可以关闭四通上方的插板阀,保持加速管真空状态。
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